高密度热解氮化硼材料的制备及性能表征

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本文采用化学气相沉积法(CVD)制备热解氮化硼,通过调整CVD温度、CVD压力,获得了密度大于2.17g/cm3、金属杂质含量小于10×10-6、层结构均匀、室温热导率达90 W/m·K的高密度热解氮化硼板材。测试结果表明,不同密度热解氮化硼材料的性能差异较大,高密度热解氮化硼产品具有更加优越的理化性质。
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