硅基法布里—珀罗微腔的室温发光

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提出了一种新型基于法布里-珀罗(F-P)微腔的发光器件结构,它采用PECVD方法制备的非晶硅/二氧化硅结构作为微腔中的布拉格反射腔,非晶碳化硅薄膜作为中间光发射层,通过对一维方向光子的限制,使发光层荧光强度增强,谱线变窄,通过调节发光层和反射腔膜厚及折射率,可以精确控制发光峰位,实验结果证明结构可望实现全硅基材料的强度室温可见光发射。
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