【摘 要】
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等离子体源离子注入技术是一种新型的非视线的离子注入材料表面改性技术. 为了对该项技术的表面改性效果进行科学的论证, 从而为该项技术的推广提供客观的试验依据, 采用该项
【基金项目】
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西南交通大学校基金(2004A01);全方位离子注入表面改性;中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室基金(100027);全方位离子束增强沉积陶瓷薄膜研究
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等离子体源离子注入技术是一种新型的非视线的离子注入材料表面改性技术. 为了对该项技术的表面改性效果进行科学的论证, 从而为该项技术的推广提供客观的试验依据, 采用该项技术对Ti6A14V合金进行氮离子注入, 对注入层的成分、组织和性能进行了分析. 结果表明： 注入层中氮浓度的分布具有类高斯分布特征;在注入层中有TiN和非晶态相形成;注入层的显微硬度和摩擦性能得到了明显的改善.
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