【摘 要】
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介绍微电子机械系统和片式系统的原理、构成和应用，并介绍几种已研制成功的微电子机械系统和片式系统。
The principle, composition and application of microelectromechan
【机 构】
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哈尔滨工业大学自动化测试与控制系,东北传感技术研究所
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介绍微电子机械系统和片式系统的原理、构成和应用，并介绍几种已研制成功的微电子机械系统和片式系统。
The principle, composition and application of microelectromechanical systems and chip systems are introduced. Several types of microelectromechanical systems and chip systems that have been developed are introduced.
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