【摘 要】
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研究调制比对多层类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)层摩擦及腐蚀行为的影响。采用等离子体增强化学气相沉积技术成功制备了不同调制比的多层DLC涂层。利用扫描电子显微镜、
【机 构】
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中国科学院宁波材料技术与工程研究所中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室; 中国科学院宁波材料技术与工程研究所浙江省海洋材料与防护技术重点实验室; 中国科学院兰州化学物理研究所固
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研究调制比对多层类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)层摩擦及腐蚀行为的影响。采用等离子体增强化学气相沉积技术成功制备了不同调制比的多层DLC涂层。利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、划痕仪、摩擦磨损试验机及电化学工作站等表征手段评价了不同调制比多层DLC涂层的结构特点、力学性能、摩擦学性能以及耐腐蚀性能。结果表明:所制备涂层表面光滑、结构致密、膜基界面结合良好。其中1:1为多层DLC涂层最佳调制比,该调制比涂层的硬度、弹性模量和抗裂纹萌生的临界载荷最大。同时,摩擦试验表明1:1涂层具有最低的磨损率,且经720 h盐雾试验后仍然表现出较高的阻抗值。通过以上结果可以得出当调制比为1:1时,多层DLC涂层具有良好的摩擦学性能及耐腐蚀性能。
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