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为了分析激光辐照下反射镜热变形对光束质量的影响,本文建立了激光光束45°角入射时镀铬介质高吸收镜的热固耦合模型,对不同辐照光束下反射镜的热变形和镜体厚度对热变形的影响进行了分析,并用哈特曼波前传感器对自由边界条件下的镜面热变形进行了检测。结果表明：吸收功率在0.085-0.185 W时,镜面热变形随吸收功率的增加近似线性增加,随辐照光斑的增加而减小;反射镜厚度在1-5 mm范围,镜面热变形基本不变。在激光照射的初始阶段,反射镜表面温度和热变形迅速增加,在激光连续照射20 s后,镜面温度增加量逐步