不同沉积层的纳米波导谐振腔特性测试

来源 :光子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hua50776007

【摘要】

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为确定硅基片上系统半导体光电器件集成中绝缘层材料对器件整体性能的影响,设计并制备了带有覆层的纳米波导谐振腔.谐振透射谱功率测试表明顶层覆盖Si_3N_4薄膜和SiO_2薄膜绝

【作者】

：

臧俊斌赵国英韦丽萍薛晨阳

【机构】

：

中北大学（朔州校区）,中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室

【出处】

：

光子学报

【发表日期】

：

2016年8期

【关键词】

：

光电器件片上系统纳米光波导微环谐振腔 Photoelectric device System on Chip（SoC） Nanophotonic wave

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为确定硅基片上系统半导体光电器件集成中绝缘层材料对器件整体性能的影响,设计并制备了带有覆层的纳米波导谐振腔.谐振透射谱功率测试表明顶层覆盖Si_3N_4薄膜和SiO_2薄膜绝缘层没有削弱环形谐振腔的品质因素,沉积后的最佳耦合间距为70~110 nm.覆层为SiO_2时谐振点波长附近的谐振峰消光比达16.5 dB,3 dB带宽为0.12 nm;覆层为Si_3N_4时谐振点波长附近的谐振峰消光比达13.9 dB,3 dB带宽为0.18 nm.该研究为片上系统集成设计中最佳绝缘层材料的选择提供参考.

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