【摘 要】
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据日经BP社报道,日本佳能市场营销(Canon Marketing Japan)日前上市了Alcatel Micro Machining Systems公司生产的最大腔数从原产品的1个增至4个的深度蚀刻设备“MS3200/MS32
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据日经BP社报道,日本佳能市场营销(Canon Marketing Japan)日前上市了Alcatel Micro Machining Systems公司生产的最大腔数从原产品的1个增至4个的深度蚀刻设备“MS3200/MS3200”。因为向量产阶段迈进的MEMS元器件厂商不断增多,所以此次通过增加腔数提高了生产效率。“MS4200”
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