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本文对反应离子镀和反应蒸发（电子束蒸发）工艺制备的光学薄膜的牢固度和表面粗糙度进行了检测，并将结果进行对比。
反应离子镀光学薄膜的牢固度和表面粗糙度分析
【摘 要】
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本文对反应离子镀和反应蒸发（电子束蒸发）工艺制备的光学薄膜的牢固度和表面粗糙度进行了检测，并将结果进行对比。
【机 构】
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河南师范大学物理系,清华大学现代应用物理系
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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1993年6期
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