目前,以霍尔器件为核心的霍尔传感器已广泛应用于现代工业各个领域中,用于将不同的运动转化为电量变化,实现对运动零部件的测量、控制。基于半导体中的霍尔效应,霍尔器件以非接触方式,将各种物理量,如形状、压力、速度、位移的变化转变成霍尔电压的输出。制作霍尔器件的半导体材料,其特性参数与温度相关,这导致了霍尔器件的输出在工作温度范围内非线性变化,降低了测量或控制精度。制作霍尔器件的主要材料之一是砷化镓,其工
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