【摘 要】
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纳米压印技术具有广阔的发展和应用空间,大面积纳米压印更是纳米压印技术走向产业化的关键。大行程、高速、高精度二维精密定位平台是大面积纳米压印工艺实现的基础设备,本文
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(61573288);上海市自然科学基金项目(13ZR1415800)
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纳米压印技术具有广阔的发展和应用空间,大面积纳米压印更是纳米压印技术走向产业化的关键。大行程、高速、高精度二维精密定位平台是大面积纳米压印工艺实现的基础设备,本文设计制造了一台大行程微米级高速高精度的二维定位平台。首先,对整个平台的机械结构和电控系统进行了合理的设计;接着,完成了整个结构系统与电控系统的搭建,并对电控系统的伺服参数进行了调试;最后,采用激光干涉仪搭建了面向纳米压印的大行程二维精密定位平台的实验测试系统。实验测试结果表明：该平台X、Y轴的行程都达到500 mm;X轴速度和Y轴速度分别达到70
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