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反应等离子沉积方法具有离子轰击能量低、薄膜沉积时衬底温度低的特点,可应用于太阳电池、LED（OLED）等的高质量透明导电材料的制备,有利于获得高转换效率的太阳电池。对反应等离子沉积系统进行了研究,并在FLD08型RPD设备上,制备了掺钨透明氧化物IWO薄膜材料,获得了较好的结果。
反应等离子沉积装置的性能研究
【摘 要】
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反应等离子沉积方法具有离子轰击能量低、薄膜沉积时衬底温度低的特点,可应用于太阳电池、LED（OLED）等的高质量透明导电材料的制备,有利于获得高转换效率的太阳电池。对反应等
【机 构】
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南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电信息技术科学教育部重点实验室,北京捷造光电技术有限公司
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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2017年3期
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