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在多晶硅锭剖方过程中，砂浆有着极其重要的作用，不同的砂浆密度会直接影响剖方后的小方棒尺寸、表面平整度。在设定砂浆温度、砂浆流量及设备工艺参数为恒量的情况下，通过实验得出了多晶硅锭剖方的最佳砂浆密度，从而为加工出高质量的小方棒，提高成品率提供了参考。
砂浆密度对多晶硅锭剖方尺寸的影响
【摘 要】
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在多晶硅锭剖方过程中，砂浆有着极其重要的作用，不同的砂浆密度会直接影响剖方后的小方棒尺寸、表面平整度。在设定砂浆温度、砂浆流量及设备工艺参数为恒量的情况下，通过实验得
【机 构】
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洛阳中硅高科技有限公司,洛阳麦斯克电子材料有限公司
【出 处】
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科技风
【发表日期】
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2014年5期
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