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对100nm线宽尺寸建立了掩模硅片自动对准数学模型,应用于同轴加离轴对准系统的硅片模型、掩模模型以及工件台模型中,该对准算法模型有一定可行性,能很好地满足100nm线宽对准精度的要求.
100nm线宽的掩模硅片自动对准算法
【摘 要】
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对100nm线宽尺寸建立了掩模硅片自动对准数学模型,应用于同轴加离轴对准系统的硅片模型、掩模模型以及工件台模型中,该对准算法模型有一定可行性,能很好地满足100nm线宽对准
【机 构】
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四川大学光电科学技术系,中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2004年9期
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