影响晶圆划片质量的重要因素

来源 :卷宗 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dingyi
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
在一片晶圆上,通常有几百个至数千个芯片连在一起。它们之间留有80um至150um的间隙,此间隙被称之为划片街区(Saw Street)。将每一个具有独立电气性能的芯片分离出来的过程叫做划片或切割(Dicing Saw)。目前,机械式金刚石切割是划片工艺的主流技术。在这种切割方式下,金刚石刀片(Diamond Blade)以每分钟3万转到4万转的高转速切割晶圆的街区部分,同时,承载着晶圆的工作台以一定的速度沿刀片与晶圆接触点的切线方向呈直线运动,切割晶圆产生的硅屑被去离子水(DI water)冲走。
其他文献
探索了一种Cd1-xZnxTe(CZT)探测器晶片退火的新装置和新方法,该装置可以方便有效的对CZT单晶片进行同组分源退火研究。利用XRD、红外透射谱和晶体电阻率表征了采用该装置在富Cd
人机工程学在产品设计的应用越趋成熟,对人机工程学的根本了解才能从沉稳中创新。人机工程学是在工业设计中新兴的一项以人为本的科学研究,它是产品设计中的一项热点研究对象。
本文采用反转胶lift-off工艺,对比分析了金属淀积方式、光刻胶的选择及光刻胶烘干时间对金属剥离效果的影响,制备出最小线宽4μm,最小间距4μm,厚度为1μm,线宽误差小于0.5μ
通过对于样品的实测数据分析,研究热管工质充注量对热回收效率的影响,重力热管内部结构对于热管换热性能的影响,不同面风速下各种盘管排数对于换热效率的影响,热管传热温差对
研究了一种基于体硅工艺和BCB厚膜布线技术的微波多芯片组件新封装结构,将特定组件中多个微波芯片埋置在接地金属化的硅腔体中,通过热压焊金凸点将芯片垂直引出,并于其上布置多