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简要地介绍了纳米半导体材料表面形貌、位错缺陷的观测手段与方法以及研究量子点的发光行为和光学性质的手段与方法。
纳米半导体材料的评价技术
【摘 要】
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简要地介绍了纳米半导体材料表面形貌、位错缺陷的观测手段与方法以及研究量子点的发光行为和光学性质的手段与方法。
【机 构】
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中国科学院半导体研究所
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2002年3期
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