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采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上制备了非晶态ZnO薄膜。用X射线衍射仪（XRD）、扫描探针显微镜（SPM）研究了非晶态ZnO薄膜的晶相和微观形貌，用紫外-可见光光度计和荧光光度计研究了非晶态ZnO薄膜的光学特性。测试结果袁明，XRD谱没有任何衍射峰，表明所制备的ZnO薄膜确实是非晶态；非晶态ZnO薄膜的表面平整、光滑，表面粗糙度均值为1．5nm；在可见光区有很高的透过率，最高值为90％；光学带隙为3．39eV；其PL谱显示在紫外区384nm处有较强的紫外发射。