论文部分内容阅读
为了零缺陷的突破,本文介绍芯片图形与数据带(Die-to-date base)比较检查掩模版缺陷的原理,系统组成和数据结果分析.
用芯片图形与数据带比较检查掩模缺陷
【摘 要】
：
为了零缺陷的突破,本文介绍芯片图形与数据带(Die-to-date base)比较检查掩模版缺陷的原理,系统组成和数据结果分析.
【机 构】
：
中国华晶电子集团公司掩模工厂
【出 处】
：
电子与封装
【发表日期】
：
2002年1期
其他文献
目的了解住院产妇婴儿喂养态度现状及其相关因素。方法采用婴儿喂养态度量表(IIFAS),对北京大学人民医院的217名住院产妇进行调查并分析。结果调查表明,产妇的平均IIFAS得分
根据对１８个国家和地区１２０个标本馆收藏的万余份八角属植物标本的研究，提出３个新组合，对１３个种、６个亚种３个变种和２个变形作了归并，确认全世界现有八角属植物３４种３亚种和１变种。
甜瓜新品种银瑞3号是以自交系RFY05-3为母本,RFY17-3作为父本配制成的一代杂交种。该品种属中熟品种,生育期86d,从坐瓜到成熟需35～38d。果皮浅绿色,成熟前8～10d果皮颜色开始变
现代生物技术的进步，推动着生物表面活性剂工业的发展。人类环保意识的增强，更加快了生物表面活性剂取代化学合成表面活性剂的发展进程。与一般表面活性剂相似，许多生物分子也具
运用计算流体动力学技术，基于FLUENT6．1．22流体动力学数值模拟平台，采用雷诺应力模型，对球壳、悬链面壳及椭圆双曲抛物面壳这3类结构的平均风压分布及绕流特性进行了深入研究。首
2018年3月26日,四川省深度贫困县科技扶贫万里行活动启动。2018年首批10个专家服务团当天启程,赴昭觉、马边、汶川、泸定等12个深度贫困县开展对口帮扶。2018年,全省将有74个
设计了5种形式的Q235材质钢棒耗能元件,包括1种等截面钢棒耗能元件RED A和4种变截面钢棒耗能元件RED B,RED C,RED D和RED E。首先,以数值模拟结合正交试验的方法分析各耗能元
为了研究弦管填充混凝土对矩形钢管桁架结构受力性能的影响，以受压弦管填充混凝土的矩形钢管桁架梁为研究对象，采用有限元数值模拟的方法，综合考虑材料非线性和几何非线性，分析了
基于房屋结构顶点位移，提出了一种简单、直接的被动消能结构加固设计方法；通过Pushover分析将多自由度体系等效为单自由度体系，由被动阻尼器的有效阻尼比和有效刚度的相关性，提出
在WO3中掺入杂质离子,制成傍热式厚膜元件,结合开温脱附(TPD)和半导体分析,研究了掺杂离子对元件性能的影响.