能量过滤磁控溅射技术制备Cu2O/TiO2复合薄膜及其光催化性能

来源 :表面技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hong2007quan

【摘要】

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目的制备具备良好光催化性能的Cu2O/TiO2叠层复合薄膜。方法利用直流磁控溅射技术(DMS)和能量过滤直流磁控溅射技术(EFMS)在玻璃基底上制备Cu2O/TiO2叠层复合薄膜,利用扫描电

【作者】

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王朝勇黄晓亚魏瑞朋田高旗刘志清王新练张飞鹏姚宁

【机构】

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河南城建学院,建筑光伏一体化技术河南省工程实验室,郑州大学

【出处】

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表面技术

【发表日期】

：

2020年6期

【关键词】

：

Cu2O/TiO2 磁控溅射能量过滤叠层复合薄膜光催化 Cu2O/TiO2magnetron sputteringenergy filteringmult

【基金项目】

：

国家自然科学基金项目(61076041),河南省科技攻关项目(172102210106,152102210038),平顶山市科技合作项目(2017009(9.5)),2018河南城建学院青年骨干教师培养计划

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目的制备具备良好光催化性能的Cu2O/TiO2叠层复合薄膜。方法利用直流磁控溅射技术(DMS)和能量过滤直流磁控溅射技术(EFMS)在玻璃基底上制备Cu2O/TiO2叠层复合薄膜,利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、椭偏仪和光催化测试系统表征和分析了薄膜的表面形貌、结构、透射率和光催化性能。结果DMS技术和EFMS技术制备的TiO2和Cu2O薄膜都有良好的结晶特性,其中TiO2为单一的锐钛矿结构。相对于DMS技术制备的Cu2O薄膜,EFMS样品中的Cu2O薄膜的衍射峰较弱,而且衍射峰的宽度变宽,

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