GaAs(110)表面自体氧化层的XPS研究

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zltxgl

【摘要】

：

用XPS研究了不同表面处理后GaAs(110)表面自体氧化层及其与GaAs衬底间的界面特性,初步探讨了自体氧化层的形成过程。 The interfacial properties of GaAs (110) autogenous

【作者】

：

戴道宣唐厚舜余夕同

【机构】

：

复旦大学现代物理研究所,复旦大学现代物理研究所,复旦大学现代物理研究所,

【出处】

：

真空科学与技术

【发表日期】

：

1985年03期

【关键词】

：

氧化层 XPS 表面处理界面特性衬底择优溶解新型器件氧化环境表面处理方法生长机理

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

用XPS研究了不同表面处理后GaAs(110)表面自体氧化层及其与GaAs衬底间的界面特性,初步探讨了自体氧化层的形成过程。 The interfacial properties of GaAs (110) autogenous oxide layers and GaAs substrates after different surface treatments were studied by XPS, and the formation of autogenous oxide layers was discussed.

其他文献

光—化学汽相沉积低温生长二氧化硅膜

用低压汞灯照射氧气和甲硅烷来制备二氧化硅膜。沉积速度随紫外辐射量增加,而活化能降低到0.22eV。254nm光对沉积的作用很小。沉积膜的折射率为1.44～1.46。在光—化学汽相沉积

期刊

汽相沉积膜吸收峰值沉积速度低压汞灯甲硅烷低温生长活化能折射率沉积法

晶体管的一个重要物理参数△V_(BE)

本文从测量多种小功率、大功率晶体管在规定条件下的△V_(BE),及其随加热功率P_(Hot)的变化规律,到详细讨论测试结果.如果在相同条件下测量不同器件的△V_(BE),可以迅速评价

期刊

BE物理参数制造工艺加热功率结温规定条件测试产品电原理图导通状态管芯

逗笑“木头人”

丁零零……铃声响起来了，我们快速收拾书包，冲出教室，来到操场上，今天的课外活动游戏会是什么呢？房老师信步走来，笑容满面地说：“我们今天的游戏是‘逗笑木头人’。”大家顿时兴奋起

期刊

游戏课外活动书包木头铃声教室操场

星状玻璃体变性患者眼内3片式硅树脂人工晶体表面钙化:临床病理报道

Objective: To illustrate the laboratory findings in a patient with bilateral asteroid hyalosiswho presentedwith calcified deposits on a 3- piece silicone intrao

期刊

人工晶体玻璃体变性硅树脂玻璃体星状变性片式白内障摘除白内障手术光学面晶体植入人工晶体眼

表面组装技术中的钎焊可靠性问题国外研究动态

前言微型化、薄型化和轻量化是现代电子产品的发展方向之一。随着组装密度的增大和精度要求的提高,微电子组装技术中的可靠性问题也越来越受到人们的关注,世界各发达国家尤

期刊

表面组装技术微电子组装钎焊方法组装密度高密度组装电子组装技术钎焊接头基板薄型化钎料合金

雷基图测绘技术探讨

问题的提出微波自激振荡管(包括反射速调管、磁控管、O型返波管、M型返波管等)的负载特性表征了高频负载变化对振荡管输出功率和振荡频率的影响,这是微波管的基本特性之一。

期刊

基图返波管微波电子管反射速调管磁控管微波管特性表测绘方法输出功率自激振荡

放眼世界:话剧的现实主义

中国的话剧,无论从编剧、导演、表演以及其他门类,为要走向成熟,自立于世界话剧之林,必须把目光投向世界话剧界,并且要对世界话剧史进行纵向扫描,看其流变,探其规律,取人之长

期刊

纵向扫描取人之长莫斯科艺术剧院自然主义戏剧表现主义舞台形象斯特林堡梅特林克易卜生艺术媒介

自主创新三大集团的另一种方程式

在自主创新这个问题上,一段时间以来,不少人对作为中国汽车工业骨干的三大集团是不满的。说什么的都有:不作为,假深沉,躺在洋人的怀抱里享受国家政策的优惠……特别是当奇瑞

期刊

自主品牌企业汽车工业奇瑞汽车自主品牌竺延风集体失语东风公司陈虹汽车制造自主知识产权

行车记录仪没有起到作用

“我们手上有70多辆客车,其中有50多辆是今年新购置的。基本上全有ABS和行车记录仪。不过我个人认为,现在我国的行车记录仪更像是一种摆设。”天津金龙国际旅行社董事长、总

期刊

行车记录仪国际旅行社金龙上面不合格管理制度欧洲国家违章行为出现事故管系统

落实记忆是突破英语教学质量瓶颈的关键

英语是文科学科之一,有大量的知识须要我们记忆,如单词的拼写、意义、短语、句型及一些语法规则等等。事实上,很大一部分学生反映:英语单词记不住、词义记不准、语法记不了等

期刊

学习环节教学质量知识的理解学习效率语法现象句型结构书读

GaAs(110)表面自体氧化层的XPS研究

与本文相关的学术论文