【摘 要】
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烘箱HMDS预处理系统在提高光刻胶与硅片的黏附性方面具有很多优越性。文章通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、PRIME时间、PRIME后保持时间等参数的优化实验，得到了最佳的烘
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烘箱HMDS预处理系统在提高光刻胶与硅片的黏附性方面具有很多优越性。文章通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、PRIME时间、PRIME后保持时间等参数的优化实验，得到了最佳的烘箱HMDS预处理程序。通过提高烘箱工作温度（150C）、减少PRIME时间（0．5min）和增加PRIME后保持时间（5min），最终降低了HMDS处理后的硅片接触角，进而降低了光刻胶28％的用量。本方法已经验证在本次开发中，其工艺稳定，完全适用于生产线量产。
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