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本文简要介绍在电子束曝光机中的几种类型的阴极,主要描述了用于六硼化镧阴极的可调节恒流源,并给出了一些实验结果。
用于六硼化镧阴极的可调节恒流源
【摘 要】
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本文简要介绍在电子束曝光机中的几种类型的阴极,主要描述了用于六硼化镧阴极的可调节恒流源,并给出了一些实验结果。
【机 构】
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中国科学院电工研究所,中国科学院电工研究所
【出 处】
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电工电能新技术
【发表日期】
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1991年2期
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