【摘 要】
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据媒体报导,中国有色金属工业协会最近组织召开了“水平砷化镓单晶材料产业化”科技成果鉴定会,鉴定委员会认为,该项目利用本单位独创的石英舟预处理技术、生长系统设计和制造技
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据媒体报导,中国有色金属工业协会最近组织召开了“水平砷化镓单晶材料产业化”科技成果鉴定会,鉴定委员会认为,该项目利用本单位独创的石英舟预处理技术、生长系统设计和制造技术、固液界面特种加热炉设计和制造技术,研究开发了Ф2时和Ф2.5时水平砷化镓单晶牛长工艺技术及晶片加工工艺技术。通过提高单晶单炉产量和成品率,提高晶片加工成品率,实现了水平砷化镓单晶材料的产业化,达到了预期的目标。该项目的技术达到国际先进水平。
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