一种适用于微操作的驱动技术

来源 :机械设计 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wjsj123

【摘要】

：

随着微机电系统(Micro Electro-Mechanical Systems, MEMS)研究的日渐发展,灵活、稳定的微操作器作为微机电系统的一项基础研究,其重要性也越来越显示出来.从装配的微操作出

【作者】

：

李德选罗翔田梦倩颜景平

【机构】

：

东南大学

【出处】

：

机械设计

【发表日期】

：

2004年12期

【关键词】

：

微操作压电驱动技术位移放大控制策略 micro manipulation piezoelectric driving technology displ

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随着微机电系统(Micro Electro-Mechanical Systems, MEMS)研究的日渐发展,灵活、稳定的微操作器作为微机电系统的一项基础研究,其重要性也越来越显示出来.从装配的微操作出发,介绍了微操作的基本概念,对应用于微操作的压电驱动技术的原理、特点、现状及研究热点进行了详尽的阐述,并对其相应的控制策略进行了探讨.

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