【摘 要】
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本文给出来一种应用于油井井下恶劣环境下的SiC MEMS谐振应变传感器。该传感器是一个质量平衡双端音叉（BDETF）,由沉积在硅基板的3C-SiC薄膜制备而得。该器件在大气环境下,从室
【机 构】
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本文给出来一种应用于油井井下恶劣环境下的SiC MEMS谐振应变传感器。该传感器是一个质量平衡双端音叉（BDETF）,由沉积在硅基板的3C-SiC薄膜制备而得。该器件在大气环境下,从室温到300℃以上均可振荡。对该器件施加10000g的冲击（垂直于器件表面）而无损失和谐振频率漂移。该传感器具有66Hz/με,这与目前的硅传感器相当。
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