【摘 要】
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<正>扩散硅压力传感器温度补偿问题一向被人们关注。常用的补偿法有:在力敏电阻桥中串、并联电阻[1]或单元补偿网络[2]、有源温度补偿网络[3])、恒压供电三极管外补偿法[4]及
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<正>扩散硅压力传感器温度补偿问题一向被人们关注。常用的补偿法有:在力敏电阻桥中串、并联电阻[1]或单元补偿网络[2]、有源温度补偿网络[3])、恒压供电三极管外补偿法[4]及可调温度系数的电压源补偿法[5]等等。文献[3～5]中的补偿法是利用温敏元件来改变供桥电压的温度特性,达到对传感器温度性能的补偿,是有源补偿法,其实质是利用供桥激
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