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本文根据分泵的发展过程，重点对分子泵在分子流和过渡流态下的理论计算方法进行了系统的评价和讨论。并对当前分子泵的理论研究提出了建议。
现代分子泵理论研究与进展
【摘 要】
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本文根据分泵的发展过程，重点对分子泵在分子流和过渡流态下的理论计算方法进行了系统的评价和讨论。并对当前分子泵的理论研究提出了建议。
【机 构】
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东北大学
【出 处】
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真空
【发表日期】
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1998年02期
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