【摘 要】
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从分子运动的角度,通过对不同分子沉降过程的量化计算,发现不同污染物沉降速率的差异,由此提出了一种包含污染物化学成分的有效洁净度的概念.有效洁净度从描述物质沉降过程的
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,中国工程物理研究院激光聚变研究中心,上海交通大学物理系,中国科学院大学
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从分子运动的角度,通过对不同分子沉降过程的量化计算,发现不同污染物沉降速率的差异,由此提出了一种包含污染物化学成分的有效洁净度的概念.有效洁净度从描述物质沉降过程的输运方程出发,通过计算不同理化性质的污染物分子沉降速率对不同污染物进行区分,并将该信息与原标准下的洁净度信息结合.使用美国国家标准与技术学会（NIST）数据库提供的数据代入有效洁净度理论,计算了几种主要污染物的有效洁净度数值,计算结果与法国LIL激光装置中有代表性的污染物的沉降速率及曝光后形成污染的程度进行了对比,与实验观测基本吻合.
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