【摘 要】
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通过观察和分析 ,指出低压反应离子镀中材料经过了蒸发、电离、飞行、加速和沉积五个阶段 ,定性解释了对能谱和质谱的测量结果 ,比较全面、细致地描绘了低压反应离子镀的物理
【机 构】
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国防科技大学应用物理系,国防科技大学应用物理系,国防科技大学应用物理系 湖南长沙410073rrrrrrrrrn,湖南长沙410073rrrrrrrrrn,湖南
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通过观察和分析 ,指出低压反应离子镀中材料经过了蒸发、电离、飞行、加速和沉积五个阶段 ,定性解释了对能谱和质谱的测量结果 ,比较全面、细致地描绘了低压反应离子镀的物理图像。
Through observation and analysis, it is pointed out that the materials in low-voltage reactive ion plating have been subjected to five stages of evaporation, ionization, flight, acceleration and deposition, qualitatively explaining the results of energy spectrum and mass spectrometry, and more comprehensive and detailed depiction of low pressure reactive ion plating The physical image.
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