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期刊论文
基于Monte Carlo方法模拟薄膜生长
基于Monte Carlo方法模拟薄膜生长
来源 :大学物理实验 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shiguangli010
【摘 要】
:
本文运用Monte Carlo方法,通过计算机模拟研究了真空镀膜过程中沉积速率、自由粒子迁移率、粒子沿分形迁移等对薄膜生长过程的影响。
【作 者】
:
刘方旸
【机 构】
:
中国科学技术大学
【出 处】
:
大学物理实验
【发表日期】
:
2008年2期
【关键词】
:
MONTE
Carlo
薄膜生长
沉积速率
迁移率
团簇
Monte carlo thin fil growth deposition rate movemen
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本文运用Monte Carlo方法,通过计算机模拟研究了真空镀膜过程中沉积速率、自由粒子迁移率、粒子沿分形迁移等对薄膜生长过程的影响。
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