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<正> 一、前言 利用溅射工艺使材料形成薄膜化是当前以电子装置为主的各个领域迅速发展起来的新技术之一,这是由于它利用了与体型截然不同的薄膜及其独特的性质而研制出的新产品之缘故。
溅射型应变计与压力变送器
【摘 要】
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<正> 一、前言 利用溅射工艺使材料形成薄膜化是当前以电子装置为主的各个领域迅速发展起来的新技术之一,这是由于它利用了与体型截然不同的薄膜及其独特的性质而研制出的新
【机 构】
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机械电子工业部哈尔滨电子敏感技术研究所
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1989年3期
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