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本文简要地阐明了扫描隧道显微镜(STM)的工作原理,详细地介绍了STM 在纳米结构制造中的一些应用,包括 STM 诱导淀积和刻蚀,STM 直接刻写、电子束光刻和移动单个原子等。
扫描隧道显微镜（STM）在纳米结构制造中的应用
【摘 要】
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本文简要地阐明了扫描隧道显微镜(STM)的工作原理,详细地介绍了STM 在纳米结构制造中的一些应用,包括 STM 诱导淀积和刻蚀,STM 直接刻写、电子束光刻和移动单个原子等。
【机 构】
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河北大学电子与信息工程系保定071002
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1992年3期
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