【摘 要】
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超精密加工精度可以精确到亚微米,加工表面粗糙度可达纳米级。对于传统的加工精度较低、加工质量不高的问题,探讨新型超精密磨削加工中的修整技术--半刚性磨具修整磨削,对其
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超精密加工精度可以精确到亚微米,加工表面粗糙度可达纳米级。对于传统的加工精度较低、加工质量不高的问题,探讨新型超精密磨削加工中的修整技术--半刚性磨具修整磨削,对其磨削修整装置的工作原理、关键技术进行深入研究。
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