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本文介绍一种计算高质量GDa-Si磷掺杂固相效率η(S)的方法。所得的结果是:当掺杂剂气相浓度C(g)等于固相浓度C(S)时,对于C(g)<10~(-4),η(S)是常数,其值为20％,即a-Si薄膜中四配位磷原子密度N(P_4~+)与三配位磷原子密度N(P_3~0)之比是1/4;对于C(g)>10~(-4),、η(S)服从Street定律,其值为10~(-2)～10~(-3)。N(P_4~+)/N(P_3~0)～1/100。P_3~0P_4~0—D之间的热平衡反应常数K～10~(16)cm~