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六方氮化硼薄膜研究目前尚处于基础阶段,其制备方法尚不成熟.本文主要介绍了采用化学气相沉积（CVD）工艺,以环硼氮烷（Borazine）为先驱体,以Cu为衬底,得到结晶度高、尺寸大并且厚度均匀的六方氮化硼薄膜的制备过程,以及转移过程.
基于低压化学气相沉积方法的二维六方氮化硼薄膜制备
【摘 要】
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六方氮化硼薄膜研究目前尚处于基础阶段,其制备方法尚不成熟.本文主要介绍了采用化学气相沉积（CVD）工艺,以环硼氮烷（Borazine）为先驱体,以Cu为衬底,得到结晶度高、尺寸大并且厚度
【机 构】
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陆军装甲兵学院
【出 处】
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神州
【发表日期】
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2018年16期
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