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本文介绍了用于制备量子线和量子点微结构的选择区域外延和精细束加工技术，并评述了今后研究与发展方向。
量子线与量子点微结构的选择生长制备技术
【摘 要】
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本文介绍了用于制备量子线和量子点微结构的选择区域外延和精细束加工技术，并评述了今后研究与发展方向。
【机 构】
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河北大学电子与信息工程系
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1994年3期
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