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接触式与电容耦合式两类RFMEMS开关各自在一定的频段内，都具有较高的隔离度，但仍然很难满足微波控制系统中对高隔离度的要求。为了获得全波段高隔离度RFMEMS开关，单元开关很难达到要求，在此目标要求下，提出了组合式RFMEMS开关的设计，分别利用HFSS软件对各单元进行结构参数优化，再将两者集成在一起，得到的组合式RFMEMS开关，这种组合式开关在0～20GHz时隔离度都高于-60dB，在（≤5GHz），隔离度高于-70dB，这是一般单元开关及其他半导体固态开关所无法企及的，而且，在DC～20GHz范围内