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基于统一的二阶RC传输线模型结构,推导出一维和二维PSD光生电势的解析解,并进行了仿真分析.仿真结果表明,一维PSD的光生等势线在没有电极的两边界垂直分布,并能够真实探测到光入射位置;而二维PSD的光生电势分布以光源照射位置为中心向四个电极递减,垂直方向互相影响,在给定参数下光的入射位置与真实值相比有60% 的误差.PSD统一结构模型的分析方法和仿真结果对计算激励脉冲响应、短脉冲激励的位置精度分析、光生电势分析提供了一个理论指导.