论文部分内容阅读
分别采用截面抛光法（包括以硅片作陪衬与以聚酯作陪衬两种形式）和界面黏接法检测了反应烧结碳化硅（Reaction Bonded SiC,RB-SiC）旋转超声磨削加工的亚表面损伤。为确定其中的最佳检测形式,采用表面破碎层深度、最大破碎层深度、平均裂纹深度、最大裂纹深度4个亚表面损伤评价指标对两种方法分别检测到的RB-SiC旋转超声磨削亚表面损伤进行对比分析。结果显示：截面抛光法（硅片作陪衬）检测到的4个指标值依次为3.30μm、6.59μm、8.64μm、17.44μm;截面抛光法（聚酯作陪衬）检测到的4个