【摘 要】
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<正>在光刻设备中,曝光时间的控制方.法有许多种,如计时法、恒光强控制、线性光量积分和数字式光量积分等等。我所研制生产的GK—2A型接触接近式光刻机是制造大规模集成电路
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<正>在光刻设备中,曝光时间的控制方.法有许多种,如计时法、恒光强控制、线性光量积分和数字式光量积分等等。我所研制生产的GK—2A型接触接近式光刻机是制造大规模集成电路及其它半导体器件的光刻设备,该机采用普通紫外线光谱,可对φ100、φ75、φ50、φ35等尺寸的硅片及碎片进行光刻。该机的曝光时间有三种控制方式:(1)手动控制——曝光时间可根据操作者的要求随意掌握;(2)计时控制——采用计数器对脉冲源信号进行计数,曝光时间控制精度比较高,计时误差小于0.2％,曝光时间从
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