【摘 要】
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静电电位是最重要的静电参数之一,其测量方法可分为接触式和非接触式两大类。“信号自屏蔽-电荷耦合”原理克服了传统的“接地屏蔽-电压输入”原理的缺点,其仪器具有输入电阻高(大
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静电电位是最重要的静电参数之一,其测量方法可分为接触式和非接触式两大类。“信号自屏蔽-电荷耦合”原理克服了传统的“接地屏蔽-电压输入”原理的缺点,其仪器具有输入电阻高(大于10 ̄14,Ω)、动态特性好、抗干扰能力强等特点,利用激光、光导纤维和现代电子技术研究新的测试原理和系统,是该领域当前的发展趋势。
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