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提出了一种高对称电容式微加速度传感器，该传感器为硅四层键合三明治结构，在完成传感器整体结构制作的同时，实现了圆片级真空封装。利用多次氧化的方法，既精确控制了加速度传感器的初始电容间距，又实现了限位凸点的制作。该加速度传感器的谐振频率为657Hz，品质因子为198，灵敏度为0．59V/g。
一种电容间隙精确可控的高对称加速度传感器
【摘 要】
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提出了一种高对称电容式微加速度传感器，该传感器为硅四层键合三明治结构，在完成传感器整体结构制作的同时，实现了圆片级真空封装。利用多次氧化的方法，既精确控制了加速度传感器
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院研究生院
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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2009年1期
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