电容式加速度传感器相关论文
梳齿电容式加速度传感器具有测量精度高、灵敏度高、温度漂移小等优点,在智能汽车、地震监控、地质勘探等领域得到广泛应用。然而......
基于CMOS MEMS工艺设计一种单片集成三轴电容式加速度传感器.传感器的X、Y轴敏感单元采用多层金属对称的水平定齿动齿均置式,Z......
文章介绍了硅微电容式加速度传感器的工作原理,设计了一种变极距电容低频矢量水听器,通过将加速度敏感结构做成差动式电容、采用对......
硅电容加速度传感器由硅可动电极和玻璃固定电极封接而成.固定电极的加工质量对传感器的性能有很大的影响.本文从封装的角度讨论了......
传感器是MEMS技术的一个重要分支,其中的加速度传感器在航空、航天和汽车等很多领域有着广泛的应用,主要有压阻式、电容式和压电式......
该论文的主要工作包括以下三方面内容:1.综述微系统技术,重点论述微系统技术中的LIGA技术和用LIGA技术制作微型加速度传感器的工艺......
该文主要研究静电力再平衡工作的微硅电容扭摆式加速度传感器测量控制电路.论文首先对微电子机械系统(MEMS)、加速度传感器和电容......
鉴于国内所研究的加速度传感器理论值较大,而实际所测加速度值较小的现状,本文设计了一种应用于闭环模式的电容式加速度传感器的读......
介绍了一种可用于差动电容敏感的加速度传感器的信号检测电路,给出了在电路中所用的电子元器件,同时进行分析,得到电路的输出电压......
提出了一种利用体微机械加工技术制作的硅三层键合电容式加速度传感器。采用硅各向异性腐蚀和深反应离子刻蚀技术实现中间梁-质量......
研究MEMS电容式加速度传感器的自我标定方法,模拟机械振动台标定,提高标定效率和降低标定成本,并从理论上分析了DRIE工艺误差对传......
介绍了一种可用于差动电容敏感的加速度传感器的信号检测电路，给出了在电路中所用的电子元器件，同时进行分析，得到电路的输出电压和传......
便携式制动性能测试仪是符合GB7258-2004《机动车运行安全技术条件》标准要求，采用高精度硅微电容式加速度传感器，经微处理机采样、......
提出了一种高对称电容式微加速度传感器，该传感器为硅四层键合三明治结构，在完成传感器整体结构制作的同时，实现了圆片级真空封装。利......
检测导弹在车载行军过程中受到的振动冲击。采用加速度传感器ADXL50敏感振动过程中加速度的值，然后通过ADC0809转换成数字信号，再通......
提出了一种利用体微机械加工技术制作的硅四层键合高对称电容式加速度传感器.采用硅/硅直接键合技术实现中间对称梁质量块结构的制......
为了解决对建筑物的结构健康安全监测进行在线监测的问题,采用微机电系统(MEMS)技术和无线传感器网络技术相结合的方法,提出了一种......
针对采用基于电容传感原理的加速度传感器来实现角度测量时出现的非线性问题,提出数据预处理与广义回归神经网络(Generalized Regr......
通过建立传感器的力学模型，对硅微电容式加速度传感器的特性作了详细的分析与讨论，为系统结构的优化设计提供了理论基础。......
介绍了一种可用于差动电容敏感的加速度传感器的信号检测电路,给出了在电路中所用的电子元器件,同时进行分析,得到电路的输出电压......
选择梳齿式差分电容结构对电容式加速度传感器进行设计,阐述其优势和原理,并选用相匹配的传输电路,同时根据数据曲线对敏感质量块......
针对精确制导的应用需求,设计了一种量程为100g"三明治"电容式加速度传感器,通过ANSYS仿真软件在100g及10 000g高过载条件下进行应......
电容式微加速度传感器具有分辨率高、动态范围大、温度特性好等优点，可以广泛应用在对性能要求较高的领域，如惯性导航、空间微重力测......
介绍一种基于滑膜阻尼的差动电容加速度传感器.该加速度传感器利用圆柱形差分电容极板间重合面积的改变来检测加速度的大小,保证输......
强震观测台网中,强震仪的拾震器都是采用的电容式加速度传感器,它具备着着动态范围大、精度高、线性度好等优点。但是由于我国幅员......
在电容式加速度传感器系统中,与电容式加速度敏感头相连的外围电路普遍存在温度漂移的问题。利用差分运算放大电路作为传感器的温......
MEMS电容式加速度传感器具有灵敏度高、温度系数小、功耗和成本低等优点,已经在汽车、工业、消费电子、石油探测、导航等领域得到......
利用ICP体硅深加工,本文设计分析了一种三轴三质量块的电容式加速度传感器。水平方向采用定齿偏置配置梳齿式,垂直方向采用不等高......
高精度MEMS加速度传感器能够实现实时位移检测,在当今民用和军用系统如汽车电子、工业控制、消费电子、卫星火箭和导弹等中间具有......
现代信息技术的三大基础是信息采集(即传感器技术)、信息传输(通信技术)和信息处理(计算机技术)。随着集成电路和微机械加工技术的......
设计了一种惯性式测振传感器,建立了差动电容式加速度传感器的数学模型,并对其作了特性分析,由给定的非线性误差可以求出质量块相......
设计了一种差动式测振传感器,建立了差动电容式加速度传感器的数学模型,并通过电容的推导计算对其进行了特性分析。对检测电路的结......
