【摘 要】
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金属辅助化学刻蚀是近些年发展起来的一种各向异性湿法刻蚀，利用该方法可以制备出高长径比的半导体一维纳米结构。本文综述了金属辅助化学刻蚀法可控制备硅纳米线的最新进展，简
【机 构】
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太原理工大学信息工程学院太原030024
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金属辅助化学刻蚀是近些年发展起来的一种各向异性湿法刻蚀，利用该方法可以制备出高长径比的半导体一维纳米结构。本文综述了金属辅助化学刻蚀法可控制备硅纳米线的最新进展，简要概述TN蚀的基本过程与机制，重点阐述了基于不同模板的金属辅助化学刻蚀可控制备高度有序、高长径比的硅纳米线阵列的具体流程与工艺，并介绍了其在锂离子电池、太阳能电池、气体传感检测和仿生超疏水等方面的潜在应用，探讨了目前存在的问题及其今后的研究发展方向。
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