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将功率为实20～30W、波长为1064nm的YAG激光束照射在硅样品表面打出小孔,在孔内的侧壁上有特殊的网孔状结构。从分析激光与硅材料相互作用的原理来解释孔内侧壁上网孔状结构形成的原理。通过优化激光加工的条件,使我们获得了稳定的低维量子结构的和较强发光的样品。
YAG激光辐照下单晶硅表面结构变化的研究
【摘 要】
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将功率为实20～30W、波长为1064nm的YAG激光束照射在硅样品表面打出小孔,在孔内的侧壁上有特殊的网孔状结构。从分析激光与硅材料相互作用的原理来解释孔内侧壁上网孔状结构形
【机 构】
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贵州大学贵州省光电子技术与应用重点实验室
【出 处】
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贵州大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2007年3期
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