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合金薄膜电阻应变式压力传感器的研究进展
合金薄膜电阻应变式压力传感器的研究进展
来源 :材料导报 | 被引量 : 19次 | 上传用户:HIT_Happy
【摘 要】
:
综述了合金薄膜应变压力传感器的现状、发展趋势、技术关键及应用情况。合金敏感薄膜电阻在应变压力传感器上的应用克服了粘贴式应变压力传感的缺点,使压力传感器结构更精细,性能更优越,适应各种恶劣环境测量压力的要求。
【作 者】
:
晏建武
周继承
鲁世强
田莉
【机 构】
:
中南大学物理科学与技术学院,中南大学物理科学与技术学院,南昌航空工业学院材料科学与工程系
【出 处】
:
材料导报
【发表日期】
:
2005年12期
【关键词】
:
合金薄膜
压力传感器
进展
alloy thin film
piezoresistive sensor
development
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综述了合金薄膜应变压力传感器的现状、发展趋势、技术关键及应用情况。合金敏感薄膜电阻在应变压力传感器上的应用克服了粘贴式应变压力传感的缺点,使压力传感器结构更精细,性能更优越,适应各种恶劣环境测量压力的要求。
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