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利用能谱仪（energy dispersive spectrometer, EDS）及蒙特卡罗方法（Monte Carlo method）确定金（Au）镀层厚度.使用不同加速电压对试样表面进行EDS 成分分析,选取镀层元素含量在80% - 99% 的加速电压进行蒙特卡罗模拟计算,可以快速获得镀膜厚度.同时,为了验证蒙特卡罗方法的可靠性,对样品进行FIB 制样和SEM 厚度测试.两者结果基本-致.该方法适用于20-1000 nm 金（Au）镀层厚度的测量.