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本文介绍了激光清洗技术在微电子领域的应用,对该技术在清除细微颗粒方面所具有的独到的优越性进行了探讨。
激光清洗技术在微电子领域的应用
【摘 要】
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本文介绍了激光清洗技术在微电子领域的应用,对该技术在清除细微颗粒方面所具有的独到的优越性进行了探讨。
【机 构】
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西安交通大学电信学院
【出 处】
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洗净技术
【发表日期】
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2004年08期
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