【摘 要】
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目前国外真空获得设备,广泛用在科学研究与工业生产方面,提供和控制各种处理 装置和科学仪器在运行中所必要的真空环境。一般真空工厂,已经能够掌握真空装置的 工作原理和特
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目前国外真空获得设备,广泛用在科学研究与工业生产方面,提供和控制各种处理 装置和科学仪器在运行中所必要的真空环境。一般真空工厂,已经能够掌握真空装置的 工作原理和特性。所研制的各种产品,基本上能满足粗、低、高及超高真空条件的要 求,真空技术日益向边缘技术蔓延扩大?
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<正> 一、引言气体的微流量控制在很多工艺中是非常重要的,尤其是现代科学技术的发展,不仅对气体本身的纯度与体态有较高的要求,而且在工艺使用中对气体的流量也有严格要求。