【摘 要】
：
利用等离子体增强化学气相沉积系统（PECVD）研究SiO2薄膜低温制备工艺，分析工艺条件对薄膜性能参数影响，通过调节射频功率优化薄膜应力，在150℃低温下获得接近零应力SiO2薄膜，薄膜沉
【机 构】
：
中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
论文部分内容阅读
利用等离子体增强化学气相沉积系统（PECVD）研究SiO2薄膜低温制备工艺，分析工艺条件对薄膜性能参数影响，通过调节射频功率优化薄膜应力，在150℃低温下获得接近零应力SiO2薄膜，薄膜沉积速率约为40nm／min，片内均匀性优于3％，折射率为1．46±0．003，并具有良好的附着力和抗蚀性能。由于沉积温度低，薄膜性能好，因此可以作为绝缘层或介质层，应用于柔性电子领域。
其他文献
从对怀朔镇勋贵群体任官的统计分析看,东魏北齐国家军政最核心、最重要的权力,基本上被高欢及北齐诸帝授给高氏宗亲,怀朔镇勋贵群体在统治集团中的地位和权力仅次于高氏宗亲
浙江省经济发达,但地质灾害频繁发生,给该省的建设和发展造成极大的损失。在基于Web MapGIS的基础上,根据浙江省地质灾害大调查和补充调查资料,拟建立浙江省突发性地质灾害预
汉语词类划分标准问题研究的深化主要体现在两个方面:一是语法功能标准的深化。功能标准30年代由陈望道提出,50年代陈乃凡等人也作了一些论述,80年代吕叔湘、朱德熙进一步探
全球金融危机对我国的电力行业发展造成了深远的影响,为了电力行业的可持续健康发展,电力营销应以满足社会发展和人民生活需求作为出发点和落脚点。通过深入分析我国电力营销
目的探讨颅内动脉瘤破裂后急诊手术治疗效果方法回顾性分析2005年12月至2007年2月期间采取急诊手术治疗的10例颅内动脉瘤病例，并进行随访研究。结果10位患者发病至入院平均间
祁漫塔格地处东昆仑造山带西段,该区建造组成丰富,断裂构造发育,断层构造以北西西走向为主,华力西-印支造山旋回中酸性侵入岩浆活动强烈。在综述祁漫塔格地区成矿地质背景基
以纳米纤维素(CNF)为生物质诱导剂,通过水热合成法制备了碳掺杂氧化锌(C-ZnO),通过XRD、FT-IR、SEM和DRS对C-ZnO进行了表征,并测试了C-ZnO对四环素的光催化降解性能。研究结
随着我国经济社会的高速发展,推动了建筑行业得到相应的发展。但是建筑施工单位需要对造价进行有效的控制,对高层建筑安装工程项目造价的控制方式进行相应的探索、实践和创新
结合具体教学案例,探讨深度学习视域下的教学策略。针对学生浅层学习的现状,指出教学过程中应通过认识思路的显性化、认识角度的多元化、认识方式的自主化来挖掘知识的思维张
目的：探讨全髋关节置换术治疗老年股骨颈骨折患者的综合护理配合方法及效果。方法：将106例行全髋关节置换术治疗的老年股骨颈骨折患者随机分为观察组和对照组各53例,对照组实施